Powlekanie węglikiem tytanu
Powłoka z węglika tytanu (TiC3)
Jest to powłoka odporna na korozję w bardzo wysokiej temperaturze (3100°C) (+1000°C poza SiC3 w środowisku wysokiej próżni).
W CGT Carbon GmbH opracowaliśmy powłokę z gęstego węglika tytanu (TiC) o wysokiej czystości, przeznaczoną do ochrony grafitu i metali ogniotrwałych w środowisku wysokiej temperatury w próżni. Dzięki 3-krotnie niższemu ciśnieniu pary dla węglika tytanu w porównaniu z węglikiem krzemu, nowa powłoka TiC3 chroni lepiej niż SiC3 w próżni lub innych środowiskach o wysokiej temperaturze.
Zalety powlekania węglikiem tytanu
- Chroni grafit do temperatury topnienia TiC3 (3100°C).
- Ciśnienie pary wynosi >2200°C w 10e-8 Torr.
- Posiada strukturę sześcienną o dużej gęstości i właściwościach izotropowych.
- Charakteryzuje się wysoką przewodnością elektryczną w temperaturze pokojowej.
- Posiada doskonałą odporność na korozję.
- Jest niezwykle twardy.
- Wysoka czystość całkowita wynosi poniżej 125ppm: (Cl - 48ppm, Si - 45ppm, Ni - 9,5ppm, S - 8,8ppm).
- Półprzewodnik o wyjątkowo wysokiej czystości, w sumie poniżej 10ppm.
- Rozmiar kryształu regulowany jest w zakresie 2 - 100 μm.
- Możliwa grubość powłoki: 10 - 100 μm.
- Jest wysoko wydajny ekonomicznie.
SEM
Powierzchnia i złamania obserwowane za pomocą skaningowego mikroskopu elektronowego są przedstawione poniżej.
Penetracja
Porowatość grafitu jest bardzo dobrze pokryta, a powłoka wnika w pory i zwiększa bardzo dobrą przyczepność powłoki na powierzchni grafitu. Przyczepność na ostrych krawędziach jest dobra, ale we wszystkich przypadkach zalecany jest promień co najmniej 0,2 mm.
Zastosowania
- przemysł półprzewodnikowy
- przemysł lotniczy i kosmiczny
- zastosowania wysokotemperaturowe
- zastosowania wysokopróżniowe
- MOCVD i Epitaksja
Ogólne właściwości
| Parametr | Wartość |
|---|---|
| Gęstość | 4930 kg.m-3 |
| Struktura krystaliczna | Sześcienna (cF8) |
| Porowatość | 0% |
| Wielkość kryształu | 2 – 10 μm |
| Wygląd zewnętrzny | Jasnoszary, Satynowy |
| Rozszerzalność cieplna (20 – 1500°C) | 7.7 x 10-6 m.K-1 |
| Przewodność cieplna (@ 20°C) | 50 W.m-1.K-1 |
| Moduł sprężystości (@ 20°C) | 420 GPa |
| Oporność elektryczna (@ 20°C) | 0.02 Ω.m |
| Twardość (Vickers) | 3500 HV |
Podane wartości są wartościami standardowymi. Niektóre z nich mogą być dostosowane do konkretnych zastosowań.
Nasza powłoka TiC3, czyli sześciennego węglika tytanu, jest unikatowa. Proces osadzania łączy w sobie wysokie tempo wzrostu, kontrolowaną wielkość kryształu, strukturę izotropową i niską chropowatość powierzchni.
Powłoka ta może być stosowana na części używane w przemyśle półprzewodnikowym, lotniczym i grzewczym. Połączenie odpowiedniego rodzaju grafitu i specjalistycznej wiedzy w zakresie obróbki grafitu opracowanej przez CGT Carbon GmbH zapewnia klientom optymalne wsparcie dla różnych komponentów o zasadniczym znaczeniu. Powłoka TiC3 ma również zastosowanie do wielu materiałów ogniotrwałych (takich jak wolfram i molibden), wybranych materiałów ceramicznych i kompozytów ceramicznych.
Czystość materiału
| Pierwiastek | Stężenie (PPM WT) |
|---|---|
| Na | < 0.005 |
| Mg | 0.02 |
| Al | 0.24 |
| Si | 45 |
| P | 0.27 |
| S | 8.8 |
| Cl | 48 |
| K | 0.03 |
| Sn | 0.04 |
| Ba | < 0.005 |
| Hf | < 0.01 |
| W | < 0.05 |
| Re | < 0.01 |
| Pt | < 0.05 |
| Ca | 5.2 |
| Cr | < 0.05 |
H, C, N, O zalecane przez Intersitial Gas Analysis (wewnętrznie wyposażone)
Jeśli potrzebują Państwo więcej informacji o powłoce sześciennej z węglika tytanu (TiC3) lub jeśli chcieliby Państwo otrzymać wycenę, prosimy o kontakt.