Povlakovanie TiC3
Karbid titaničitý je žiaruvzdorný keramický materiál, ktorý odoláva veľmi vysokým teplotám (3100°C, až o 1000 °C viac ako SiC3 vo vákuu).
CGT Carbon ponúka TiC povlakovanie s vysokou čistotou na ochranu grafitu a žiaruvzdorných kovov vo vákuu. Tlak pár má o tri rády nižší, ako SiC.
Hlavné výhody
- Ochrana grafitu až do blízkosti bodu topenia TiC3 (3100°C).
- Tlak pár > 2200°C v 10e-8 Torr.
- Kubická štruktúra s vysokou hustotou a izotropnými vlastnosťami.
- Vysoko elektricky vodivé pri izbovej teplote.
- Vynikajúca odolnosť proti korózii.
- Extrémna tvrdosť.
- Vysoká čistota, celkovo menej ako 125 ppm: (Cl - 48 ppm, Si - 45 ppm, Ni - 9,5 ppm, S - 8,8 ppm).
- Pre použitie v polovodičovom priemysle čistota nižšia ako 10 ppm.
- Veľkosť kryštálov meniteľná medzi 2 - 100 μm.
- Hrúbka: 10 - 100 μm.
- Vysoká rýchlosť povlakovania pre nákladovú efektívnosť.
SEM (rastrovací elektrónový mikroskop)
Povrch a lom pozorovaný pod mikroskopom:
Penetrácia
Porozita grafitu je veľmi dobre prekrytá. TiC vytvára pevnú väzbu na povrchu grafitových výrobkov. Priľnavosť na ostrých hranách je dobrá, ale min. radius 0,2mm je odporúčaný.
Aplikácie
- polovodičový priemysel
- letectvo a kozmonautika
- vysokoteplotné aplikácie
- MOCVD & Epitaxy
Vlastnosti
Parameter | Hodnota |
---|---|
Hustota | 4930 kg.m-3 |
Kryštalická štruktúra | kubická (cF8) |
Porozita | 0% |
Veľkosť kryštálov | 2 – 10 μm |
Povrch | svetlosivý, matný |
Tepelná rozťažnosť (20 – 1500°C) | 7.7 x 10-6 m.K-1 |
Tepelná vodivosť (@ 20°C) | 50 W.m-1.K-1 |
Modul elasticity (@ 20°C) | 420 GPa |
El. odpor (@ 20°C) | 0.02 Ω.m |
Tvrdosť (Vickers) | 3500 HV |
Uvedené vlastnosti sú typické. Niektoré môžu byť zmenené na základe požiadaviek.
CVD proces povlakovania kombinuje vysokú rýchlosť rastu, kontrolovanú veľkosť kryštálov, izotropnú štruktúru a nízku drsnosť povrchu.
Povlak môže byť použitý v polovodičových, leteckých a vysokoteplotných technológiách. Kombinácia výberu z rôznych druhov grafitu, a skúseností v oblasti obrábania grafitu, ktoré CGT Carbon poskytuje, zaistí zákazníkom optimálnu podporu pre kritické komponenty v týchto odvetviach. TiC3 je tiež použiteľný na celý rad žiaruvzdorných materiálov (volfrámu, molybdénu), vybraných keramických materiálov a keramických kompozitov.
Čistota
Prvok | Koncentrácia (PPM WT) |
---|---|
Na | < 0.005 |
Mg | 0.02 |
Al | 0.24 |
Si | 45 |
P | 0.27 |
S | 8.8 |
Cl | 48 |
K | 0.03 |
Sn | 0.04 |
Ba | < 0.005 |
Hf | < 0.01 |
W | < 0.05 |
Re | < 0.01 |
Pt | < 0.05 |
Ca | 5.2 |
Cr | < 0.05 |
Pre viac informácií o povlakoch na báze karbidu titánu (TiC3), alebo v prípade dopytu, nás neváhajte kontaktovať.