Povlakování TiC3

Karbid titaničitý je žáruvzdorný keramický materiál, který odolává velmi vysokým teplotám (3100 °C, až o 1000 °C více než SiC3 ve vakuu).

CGT Carbon nabízí TiC povlakování s vysokou čistotou na ochranu grafitu a žáruvzdorných kovů ve vakuu. Tlak pár má o tři řády nižší, než SiC.

Hlavní výhody

• Ochrana grafitu až do blízkosti bodu tání TiC3 (3100°C).
• Tlak par > 2200 °C v 10e-8 Torr.
• Kubická struktura s vysokou hustotou a izotropní vlastnostmi.
• Vysoce elektricky vodivé při pokojové teplotě.
• Vynikající odolnost proti korozi.
• Extrémní tvrdost.
• Vysoká čistota, celkově méně než 125 ppm: (Cl - 48 ppm, Si - 45 ppm Ni - 9,5 ppm, S - 8,8 ppm).
• Pro použití v polovodičovém průmyslu čistota nižší než 10 ppm.
• Velikost krystalů měnitelná mezi 2 - 100 um.
• Tloušťka: 10 - 100 um.
• Vysoká rychlost povlakování pro efektivnost nákladů.

SEM (rastrovací elektrónový mikroskop)

Povrch a lom pozorovaný pod mikroskopem:

Penetrace

Porozita grafitu je velmi dobře překryta. TiC vytváří pevnou vazbu na povrchu grafitových výrobků. Přilnavost na ostrých hranách je dobrá, ale min. radius 0,2mm je doporučený.

Aplikace

• polovodičový průmysl
• letectví a kosmonautika
• vysokoteplotní aplikace
• MOCVD & epitaxe

Vlastnosti

Uvedené vlastnosti jsou typické. Některé mohou být změněny na základě požadavků.

CVD proces povlakování kombinuje vysokou rychlost růstu, kontrolovanou velikost krystalů, izotropní strukturu a nízkou drsnost povrchu.

Povlak může být použit v polovodičových, leteckých a vysokoteplotních technologiích. Kombinace výběru z různých druhů grafitu, a zkušeností v oblasti obrábění grafitu, které CGT Carbon poskytuje, zajistí zákazníkům optimální podporu pro kritické komponenty v těchto odvětvích. TiC3 je také použitelný na celou řadu žáruvzdorných materiálů (wolframu, molybdenu), vybraných keramických materiálů a keramických kompozitů.

Čistota

Pro více informací o povlacích na bázi karbidu titanu (TiC3), nebo v případě poptávky, nás neváhejte kontaktovat.