Logo

Povlakování TiC3

Karbid titaničitý je žáruvzdorný keramický materiál, který odolává velmi vysokým teplotám (3100 °C, až o 1000 °C více než SiC3 ve vakuu).

CGT Carbon nabízí TiC povlakování s vysokou čistotou na ochranu grafitu a žáruvzdorných kovů ve vakuu. Tlak pár má o tři řády nižší, než SiC.

Hlavní výhody:

  • Ochrana grafitu až do blízkosti bodu tání TiC3 (3100°C),
  • Tlak par > 2200 °C v 10e-8 Torr,
  • Kubická struktura s vysokou hustotou a izotropní vlastnostmi,
  • Vysoce elektricky vodivé při pokojové teplotě,
  • Vynikající odolnost proti korozi,
  • Extrémní tvrdost,
  • Vysoká čistota, celkově méně než 125 ppm: (Cl - 48 ppm, Si - 45 ppm Ni - 9,5 ppm, S - 8,8 ppm),
  • Pro použití v polovodičovém průmyslu čistota nižší než 10 ppm,
  • Velikost krystalů měnitelná mezi 2 - 100 um,
  • Tloušťka: 10 - 100 um,
  • Vysoká rychlost povlakování pro efektivnost nákladů.

SEM (rastrovací elektrónový mikroskop)

Povrch a lom pozorovaný pod mikroskopem:

Povrchová a lomová analýza

Penetrace

Porozita grafitu je velmi dobře překryta. TiC vytváří pevnou vazbu na povrchu grafitových výrobků. Přilnavost na ostrých hranách je dobrá, ale min. radius 0,2mm je doporučený.

TiC povlak na ostrých hranách

Aplikace

  • Polovodičový průmysl
  • Letectví a kosmonautika
  • Vysokoteplotní aplikace
  • MOCVD & epitaxe

Vlastnosti:

ParameterHodnota
Hustota4930 kg.m-3
Krystalická strukturaCubic (cF8)
Porozita0%
Velikost krystalů2 – 10 μm
Povrchsvetlosivý, matný
Tepelná roztažnosť (20 – 1500°C)7.7 x 10-6 m.K-1
Tepelná vodivost (@ 20°C)50 W.m-1.K-1
Modul elasticity (@ 20°C)420 GPa
El. odpor (@ 20°C)0.02 Ω.m
Tvrdost (Vickers)3500 HV

Uvedené vlastnosti jsou typické. Některé mohou být změněny na základě požadavků.

CVD proces povlakování kombinuje vysokou rychlost růstu, kontrolovanou velikost krystalů, izotropní strukturu a nízkou drsnost povrchu.

Povlak může být použit v polovodičových, leteckých a vysokoteplotních technologiích. Kombinace výběru z různých druhů grafitu, a zkušeností v oblasti obrábění grafitu, které CGT Carbon poskytuje, zajistí zákazníkům optimální podporu pro kritické komponenty v těchto odvětvích. TiC3 je také použitelný na celou řadu žáruvzdorných materiálů (wolframu, molybdenu), vybraných keramických materiálů a keramických kompozitů.

Čistota:

PrvokKoncentrace (PPM WT)
Na< 0.005
Mg0.02
Al0.24
Si45
P0.27
S8.8
Cl48
K0.03
Sn0.04
Ba< 0.005
Hf< 0.01
W< 0.05
Re< 0.01
Pt< 0.05
Ca5.2
Cr< 0.05

Pro více informací o povlacích na bázi karbidu titanu (TiC3), nebo v případě poptávky, nás neváhejte kontaktovat.

Kontaktformular
Ochrana datImpressum