Покрытие Карбидом Титана
Это покрытие, устойчивое к коррозии при очень высоких температурах (3100°C) (+1000°C вне SiC3 в условиях высокого вакуума).
В CGT Carbon GmbH мы разработали покрытие из плотного карбида титана (TiC) высокой чистоты, предназначенное для защиты графита и тугоплавких металлов в высокотемпературной среде в условиях вакуума. Благодаря в 3 раза более низкому давлению паров карбида титана по сравнению с карбидом кремния новое покрытие TiC3 защищает лучше, чем SiC3, в вакууме или других высокотемпературных средах.
Преимущества покрытия из карбида титана
- Защищает графит до температуры плавления TiC3 (3100°C).
- Давление паров составляет >2200°С при 10е-8 Тоrr.
- Он имеет кубическую структуру с высокой плотностью и изотропными свойствами.
- Он характеризуется высокой электропроводностью при комнатной температуре.
- Обладает отличной коррозионной стойкостью.
- Он чрезвычайно жесткий.
- Высокая общая чистота ниже 125 ppm: (Cl – 48 ppm, Si - 45 ppm, Ni - 9,5 ppm, S - 8,8 ppm).
- Полупроводник чрезвычайно высокой чистоты, всего менее 10 ppm.
- Размер кристалла регулируется в диапазоне 2 - 100 мкм.
- Возможная толщина покрытия: 10 - 100 мкм.
- Он экономически высокоэффективен.
SEM
Поверхность и изломы, наблюдаемые с помощью сканирующего электронного микроскопа, показаны ниже.
Проникновение
Поры графита покрываются очень хорошо, покрытие проникает в открытые поры и улучшает сцепление покрытия с поверхностью графита. Адгезия к острым краям хорошая, но во всех случаях рекомендуется радиус не менее 0,2 мм.
Применение
- полупроводниковая промышленность
- аэрокосмическая промышленность
- применение при высоких температурах
- применение в высоком вакууме
- MOCVD и эпитаксия
Общие свойства
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Плотность | 4930 kg.m-3 |
| Структура кристалла | Кубическая (cF8) |
| Пористость | 0% |
| Размер кристалла | 2 – 10 μm |
| Вид | Светло-серый, Сатин |
| Термическое расширение (20 - 1500°С) | 7.7 x 10-6 m.K-1 |
| Теплопроводность (при 20°C) | 50 W.m-1.K-1 |
| Модуль упругости (при 20 ° C) | 420 GPa |
| Удельное электрическое сопротивление (при 20 ° C) | 0.02 Ω.m |
| Твердость (по Виккерсу) | 3500 HV |
Приведенные значения являются стандартными значениями. Некоторые из них могут быть адаптированы для вашего конкретного приложения.
Наше покрытие TiC3, или кубический карбид титана, уникально. Процесс осаждения сочетает в себе высокую скорость роста, контролируемый размер кристаллов, изотропную структуру и низкую шероховатость поверхности.
Это покрытие можно использовать на деталях, используемых в полупроводниковой, аэрокосмической и отопительной промышленности. Сочетание правильного типа графита и опыта в области обработки графита, разработанного CGT Carbon GmbH, обеспечивает клиентам оптимальную поддержку различных критических компонентов. Покрытие TiC3 также применимо для многих тугоплавких материалов (таких как вольфрам и молибден), некоторых видов керамики и керамических композитов.
Чистота материала
| Элемент | Концентрация (PPM WT) |
|---|---|
| Na | <0.005 |
| Mg | 0.02 |
| Al | 0.24 |
| Si | 45 |
| P | 0.27 |
| S | 8.8 |
| Cl | 48 |
| K | 0.03 |
| Sn | 0.04 |
| Ba | <0.005 |
| Hf | <0.01 |
| W | <0.05 |
| Re | <0.01 |
| Pt | <0.05 |
| Ca | 5.2 |
| Cr | <0.05 |
H, C, N, O, рекомендованные Intersential Gas Analysis (внутреннее оснащение).
Если вам нужна дополнительная информация о покрытии из кубического карбида титана (TiC 3) или вы хотите запросить цены, свяжитесь с нами.