Logo

Powłoka węglika tytanu (TiC3)

Powłoka węglika tytanu (TiC3) jest powłoką odporną na korozję w bardzo wysokiej temperaturze (3100°C) (+1000°C poza SiC3 w środowisku wysokiej próżni).

W CGT Carbon GmbH opracowaliśmy powłokę z gęstego węglika tytanu (TiC) o wysokiej czystości, przeznaczoną do ochrony grafitu i metali ogniotrwałych w środowisku wysokiej temperatury w próżni. Dzięki 3-krotnie niższemu ciśnieniu pary dla węglika tytanu w porównaniu z węglikiem krzemu, nowa powłoka TiC3 chroni lepiej niż SiC3 w próżni lub innych środowiskach o wysokiej temperaturze.

Zalety:

  • Chroni grafit do temperatury topnienia TiC3 (3100°C),
  • Ciśnienie pary >2200°C w 10e-8 Torr,
  • Struktura sześcienna o dużej gęstości i właściwościach izotropowych,
  • Wysoka przewodność elektryczna w temperaturze pokojowej,
  • Doskonała odporność na korozję,
  • Niezwykle twardy,
  • Wysoka czystość całkowita poniżej 125ppm: (Cl - 48ppm, Si - 45ppm, Ni - 9,5ppm, S - 8,8ppm),
  • Półprzewodnik o wyjątkowo wysokiej czystości, w sumie poniżej 10ppm,
  • Rozmiar kryształu regulowany w zakresie 2 - 100 μm,
  • Grubość powłoki: 10 - 100 μm,
  • Wysoka wydajność ekonomiczna.

SEM

Powierzchnia i złamania obserwowane za pomocą skaningowego mikroskopu elektronowego są przedstawione poniżej.

Analiza powierzchni i pęknięć

Po lewej: Analiza powierzchniowa | Po prawej: Analiza złamań

Penetracja

Porowatość grafitu jest bardzo dobrze pokryta, a powłoka wnika w pory i zwiększa bardzo dobrą przyczepność powłoki na powierzchni grafitu. Przyczepność na ostrych krawędziach jest dobra, ale we wszystkich przypadkach zalecany jest promień co najmniej 0,2 mm.

Powłoka TiC na ostrych krawędziach

Zastosowania

  • Przemysł półprzewodnikowy
  • Przemysł lotniczy i kosmiczny
  • Zastosowania wysokotemperaturowe
  • Zastosowania wysokopróżniowe
  • MOCVD i Epitaksja

Ogólne właściwości:

ParametrWartość
Gęstość4930 kg.m-3
Struktura krystalicznaSześcienna (cF8)
Porowatość0%
Wielkość kryształu2 – 10 μm
Wygląd zewnętrznyJasnoszary, Satynowy
Rozszerzalność cieplna (20 – 1500°C)7.7 x 10-6 m.K-1
Przewodność cieplna (@ 20°C)50 W.m-1.K-1
Moduł sprężystości (@ 20°C)420 GPa
Oporność elektryczna (@ 20°C)0.02 Ω.m
Twardość (Vickers)3500 HV

Podane wartości są wartościami standardowymi. Niektóre z nich mogą być dostosowane do konkretnych zastosowań.

Nasza powłoka TiC3, czyli sześciennego węglika tytanu, jest unikatowa. Proces osadzania łączy w sobie wysokie tempo wzrostu, kontrolowaną wielkość kryształu, strukturę izotropową i niską chropowatość powierzchni.

Powłoka ta może być stosowana na części używane w przemyśle półprzewodnikowym, lotniczym i grzewczym. Połączenie odpowiedniego rodzaju grafitu i specjalistycznej wiedzy w zakresie obróbki grafitu opracowanej przez CGT Carbon GmbH zapewnia klientom optymalne wsparcie dla różnych komponentów o zasadniczym znaczeniu. Powłoka TiC3 ma również zastosowanie do wielu materiałów ogniotrwałych (takich jak wolfram i molibden), wybranych materiałów ceramicznych i kompozytów ceramicznych.

Czystość materiału:

PierwiastekStężenie (PPM WT)
Na< 0.005
Mg0.02
Al0.24
Si45
P0.27
S8.8
Cl48
K0.03
Sn0.04
Ba< 0.005
Hf< 0.01
W< 0.05
Re< 0.01
Pt< 0.05
Ca5.2
Cr< 0.05

H, C, N, O zalecane przez Intersitial Gas Analysis (wewnętrznie wyposażone)

Jeśli potrzebują Państwo więcej informacji o powłoce sześciennej z węglika tytanu (TiC3) lub jeśli chcieliby Państwo otrzymać wycenę, prosimy o kontakt.

Kontaktformular
Ochrona danychImpressum