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Titan-Karbid-Beschichtung (TiC3)

Titanium Carbide Coating (TiC3) ist eine korrosionsfeste beschichtung für sehr hohe temperaturen von bis zu 3100°C.

CGT Carbon GmbH bietet eine hochreine und dichte Titancarbid (TiC)-Beschichtung zum Schutz von Graphit und hitzebeständigen Metallen in Hochtemperatur-Vakuumumgebungen an. Bei 3-fach geringeren Dampfdrücken für TiC im Vergleich zu SiC schützt das neuartige TiC3 Coating besser als SiC3 im Vakuum oder anderen Hochtemperatur-Umgebungen.

Highlights:

  • Schützt Graphit bis nahe dem Schmelzpunkt von TiC3 (3100°C),
  • Dampfdruck >2200°C in 10e-8 Torr,
  • Kubische Struktur mit hoher Dichte und isotropen Eigenschaften,
  • Hoch elektrische Leitfähigkeit bei Raumtemperatur,
  • Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit,
  • Extrem hart,
  • Hohe Reinheit von weniger als insgesamt 125ppm: (Cl - 48ppm, Si - 45ppm, Ni - 9,5ppm, S - 8,8ppm),
  • Halbleiter mit extrem hoher Reinheit von weniger als insgesamt 10ppm,
  • Kristallgröße einstellbar zwischen 2 - 100 μm,
  • Beschichtungsdicke: 10 - 100 μm,
  • Hohe Wachstumsrate für Kosteneffizienz.

SEM

Oberfläche und Fraktur mit Rasterelektronenmikroskop:

Oberflächen- und Bruchanalyse

Links: Oberflächen Analyse | Rechts: Bruchanalyse

Penetration

Die Porosität von Graphit wird sehr gut abgedeckt und die Beschichtung dringt in die offene Porosität ein und verbessert die sehr gute Haftung der Beschichtung auf der Graphitoberfläche. Die Haftung an scharfen Kanten ist gut, jedoch wird ein Radius von mindestens 0,2 mm empfohlen.

TiC-Beschichtung an scharfen Kanten

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie
  • Luft- und Raumfahrtindustrie
  • Hochtemperatur-Anwendungen
  • Hochvakuum-Anwendungen
  • MOCVD & Epitaxie

Typische Eigenschaften

ParameterWert
Dichte4930 kg.m-3
KristallstrukturKubisch (cF8)
Porosität0%
Kristallgröße2 – 10 μm
Visuelle ErscheinungHellgrau, Satin
Thermische Ausdehnung (20-1500°C)7.7 x 10-6 m.K-1
Wärmeleitfähigkeit (@ 20°C)50 W.m-1.K-1
Elastizitätsmodul (@ 20°C)420 GPa
Spezifischer elektrischer Widerstand (@ 20 °C)0.02 Ω.m
Härte (Vickers)3500 HV

Die aufgelisteten Werte sind typische Mittelwerte. Einige Werte können auf Ihre Anwendung angepasst werden.

Unsere TiC3 Beschichtung, kurz für Cubic Titanium Carbide ist einzigartig. Der Abscheidungsprozess kombiniert eine hohe Wachstumsrate, kontrollierte Kristallgröße, isotrope Struktur und geringe Oberflächenrauheit.

Die Beschichtung kann auf Teile aufgetragen werden, die in der Halbleiterindustrie, der Luft- und Raumfahrt und in der Heiztechnik verwendet werden. Die von CGT Carbon GmbH entwickelte Kombination aus Graphitauswahl und Graphitbearbeitungs-Know-how stellt sicher, dass die Kunden optimale Unterstützung für verschiedene kritische Komponenten erhalten. Die TiC3 Beschichtung ist auch auf einer Reihe von feuerfesten Materialien (wie Wolfram und Molybdän), ausgewählten Keramiken und keramischen Verbundwerkstoffen anwendbar.

Materialreinheit:

ElementKonzentration (PPM WT)
Na< 0.005
Mg0.02
Al0.24
Si45
P0.27
S8.8
Cl48
K0.03
Sn0.04
Ba< 0.005
Hf< 0.01
W< 0.05
Re< 0.01
Pt< 0.05
Ca5.2
Cr< 0.05

H, C, N, O recommended by Intersitial Gas Analysis (internally equipped).

Wenn Sie weitere Informationen über die kubische Beschichtung aus Titankarbid (TiC 3) benötigen oder ein Angebot anfordern möchten bitten wir Sie uns zu kontaktieren.

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